Установка лазерной безмасковой оптической литографии µPG101 (Heidelberg)

14 сентября 2018
601
Классификация оборудования
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Германия
Год производства 2016
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Аренда|Заказ исследования
Стоимостная группа от 1 до 10 млн. руб.
Стоимость предоставления услуг договорная
Регламент предоставления услуги —
Объект коллективного пользования Нет
Наличие аккредитации Нет
Наличие ГОСТированной методики Нет

Описание

Применяется в микропроизводстве в таких сферах, как MEMS, BioMEMS, интегральная оптика, микро гидросистемы, ReRAM, FeRAM и других прикладных сферах микроэлектроники, где требуется высокая точность и высокое разрешение литографии. Размер минимального элемента составляет до 5 мкм. Система укомплектована откидывающейся защитной крышкой, которая обеспечивает свободный доступ к рабочему столику для быстрой загрузки/выгрузки образцов.
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Установка упорядоченного наноструктурирования объектов фемтосекундным излучением XENON РФ Аренда, Заказ исследования Владимир
Установка оцифровки картин электронной дифракции DITABIS micron (Digital Biomedical Imaging Systems) США Аренда, Заказ исследования Москва
Установка для измерения электрических и оптических параметров лазерных линеек IELD-8 РФ Аренда, Заказ исследования Владимир
Установка инспекции и макро инспекции кромки пластины Macro Only (HSEB) Германия Продажа Москва
Установка для испытания кабелей на огнеостойкость РФ Аренда, Заказ исследования Пермь
Установка лабораторная "методы и технические средства измерения температуры" ИВ1 РФ Аренда, Заказ исследования Красноярск
Установка измерения параметров элементов матричных ИК детекторов. Стандартные элементы, входящие в установку: Абсолютно черное тело; Синхронный детектор: Персональный компьютер со специальным программным обеспечением РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Лабораторная установка «Определение теплопроводности воздуха методом нагретой нити» РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Сверхвысоковакуумная автоматизированная опытная установка импульсного лазерного осаждения (ИЛО) тонкопленочных слоев (разработка лаборатории НИЯУ МИФИ) РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Автоматизированная опытная установка реактивного импульсного лазерного осаждения тонкопленочных слоев сульфидов (разработка лаборатории НИЯУ МИФИ) РФ Аренда, Заказ исследования Москва