Установка лазерной безмасковой оптической литографии µPG101 (Heidelberg)
14 сентября 2018
601
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2016 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Применяется в микропроизводстве в таких сферах, как MEMS, BioMEMS, интегральная оптика, микро гидросистемы, ReRAM, FeRAM и других прикладных сферах микроэлектроники, где требуется высокая точность и высокое разрешение литографии. Размер минимального элемента составляет до 5 мкм. Система укомплектована откидывающейся защитной крышкой, которая обеспечивает свободный доступ к рабочему столику для быстрой загрузки/выгрузки образцов.
