| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Предназначена для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков. Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм. Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки. Загрузка из кассеты в кассету (С to C station). Pattern recognition (опция). SpectraRay/4 программный пакет. Моторизованные столики для сканирования. Работа с пластинами до 200 мм. Производительность до 60 пластин в час.