Комплекс сверхпрецизионного наноразмерного травления, нанесения и модифицирования материалов на основе остросфокусированного ионного пучка и стимулированных ионно-химических процессов Helios NanoLab 400 (FEI)
14 сентября 2018
532
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2008 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Наноразмерная обработка материалов, анализ нанослоевых композиций и микроприборов, изготовление образцов для просвечивающей электронной микроскопии, формирование наноразмерных структур электроники, фотоники и микро- и наносистемной техники, исследования параметров, функционирования и дефектоскопии полупроводниковых изделий микроэлектроники, а также проведения элементного анализа слоев, поверхностей и структур