Модуль сухого плазмохимического травления ЭТНА-100-ПТ-1 (НТ-МДТ)
14 сентября 2018
504
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Якутия, Якутск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2010 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 250 руб. |
| Регламент предоставления услуги | http://s-vfu.ru/universitet/rukovodstvo-i-struktura/vspomogatelnye-podrazdeleniya/aic/news/Предоставление услуг лабораториями в режиме коллективного пользования.pdf |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Нанесение проводящих, диэлектрических, полупроводниковых покрытий, нитридов и оксидов на подложки диаметром до 100 мм. Для улучшения адгезии напыляемых слоев в модуле реализована возможность очистки поверхности образцов с помощью ионного источника постоянного тока. Модуль позволяет нагревать образец до температуры 600 °С, а также контролировать и поддерживать температуру образца в процессе напыления слоев.