Модуль сухого плазмохимического травления PLZ01/M
14 сентября 2018
367
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Якутия, Якутск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 300 руб. |
| Регламент предоставления услуги | http://s-vfu.ru/universitet/rukovodstvo-i-struktura/vspomogatelnye-podrazdeleniya/aic/news/Предоставление услуг лабораториями в режиме коллективного пользования.pdf |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Модуль плазмохимического травления PLZ-01/M предназначен для сухого травления и очистки поверхности широкого спектра материалов. При сухом травлении удаляются тонкие приповерхностные слои вещества. Скорость удаления зависит от типа используемого газа, времени обработки и мощности, выделяемой в плазме. Совместно с методом фотолитографии позволяет проводить глубокое анизотропное травление для формирования трехмерных поверхностных структур. Плазменная обработка поверхности может быть использована для улучшения адгезионных свойств поверхности материала.