Модуль ионно-лучевого травления ИЛТ-200
14 сентября 2018
484
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Якутия, Якутск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | от 300 руб. |
| Регламент предоставления услуги | http://s-vfu.ru/universitet/rukovodstvo-i-struktura/vspomogatelnye-podrazdeleniya/aic/news/Предоставление услуг лабораториями в режиме коллективного пользования.pdf |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Модуль ионно-лучевого травления ИЛТ200 предназначен для реализации метода ионно-лучевого травления с диаметром ионного пучка 200 мм. Вакуумная система модуля в процессе травления позволяет поддерживать в рабочей камере давление 4,8 х 10-4мм. рт. ст. Метод ионно-лучевого травления является наиболее перспективным из методов формирования элементов микросистем с нано- и субмикронными размерами. Преимущество метода заключается в возможности создавать элементы в функциональных слоях тех материалов, элементы которых не могут быть получены методом плазмохимического травления, таких как Ni, Fe, Cu, Cr, Au, Pt.