Быстродействующий спектральный эллипсометр "Эллипс-1891" (ИФП СО РАН)
14 сентября 2018
397
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2015 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 20 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для прецизионных измерений толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант поверхностей различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков и др.), в том числе анизотропных и жидких. В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмыс читывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование новой измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением. С использованием эллипсометра определены составы силицидов железа на границе раздела Si/Fe при разных температурах кремниевой подложки.