Лазерный эллипсометр ЛЭФ-3М (ИФП СО РАН)
14 сентября 2018
528
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 10 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Определение параметров поляризации отраженного света для расчета толщины и показателя преломления прозрачных пленок на плоских подложках. Расположение оптических элементов по ходу луча; лазер λ = 632.8 нм; диапазон угла падения пучка света на образец от 45 до 90 градусов.