| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Швейцария |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Система BPM может конфигурироваться шестью различными процессными модулями: магнетронное напыление на постоянном токе (DC), магнетронное напыление на ВЧ токе (RF), комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением, дегазация и мягкое травление.
