| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Модуль макро-инспекции пластин с ручной загрузкой. Доступна версия для контроля фотошаблонов. Основные возможности: Интерфейс BOLTS/IMM в соответствии со спецификацией SEMI E131 совместим со сторонними инструментами. Включает в себя станцию для макро-осмотра от HSEB, раму с двумя независимыми источниками света для светлого и темного поля.
