Комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv (SENTECH)
14 сентября 2018
632
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Германия |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначен для проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Длина волны эллипсометра - 632,8 нм. Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм. Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм. Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм. Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или двухслойных пленок (с известными параметрами подслоя) в производстве или лаборатории и многослойных пленок с рефлектметом.