| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Нидерланды |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 500 000 тыс. руб. |
Описание
Установка является современной системой удаления фоторезиста, травления, зачистки пластин и озоления. Система специально предназначена для обработки подложек диаметром до 200 мм. Она оснащена полуавтоматической станцией загрузки, которая способна обрабатывать подложки размером до 200 мм. Линейка NEO 200 отвечает всем требованиям исследовательских институтов и производителей устройств, имеет компактный размер, что позволяет максимально снизить эксплуатационные расходы.
Основные возможности:
Размер пластин до 200 мм
Загрузочная платформа для полуавтоматического переноса пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows
Стандарты соответствия: SEMI S2-01, SEMI S8-01, CE, EU-RoHs
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)
Основные возможности:
Размер пластин до 200 мм
Загрузочная платформа для полуавтоматического переноса пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows
Стандарты соответствия: SEMI S2-01, SEMI S8-01, CE, EU-RoHs
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)