| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Нидерланды |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 500 000 тыс. руб. |
Описание
Платформа NEO 200A является самым современным пополнением в линейке систем плазменной обработки, озоления и зачистки пластин от компании Trymax Semiconductor Equipment. Это полностью автоматическая система с одной камерой, которую можно сочетать с любым из существующих технологических модулей Trymax для обработки подложек диаметром до 200 мм. Несмотря на компактный размер, установка NEO 200A работает с двумя кассетами одновременно.
Основные возможности:
Размер пластин до 200 мм
Двухкассетная платформа
Трехосевое подающее устройство с двумя манипуляторами
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 100 пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
Функции каждой из блокировок предустановлены
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)
Основные возможности:
Размер пластин до 200 мм
Двухкассетная платформа
Трехосевое подающее устройство с двумя манипуляторами
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 100 пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
Функции каждой из блокировок предустановлены
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)