| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Нидерланды |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
Описание
Установка плазменной обработки NEO 2000 от компании Trymax Semi Conductor является современной системой удаления фоторезиста, зачистки пластин и озоления. Система специально предназначена для обработки подложек диаметром до 200 мм. Она оснащена ультра-быстрой станцией загрузки, которая может быть адаптированадля обработки подложек любых размеров вплоть до 200 мм. Линейка NEO 2000 отвечает всем требованиям исследовательских институтов и производителей устройств, имеет компактный размер и высокую производительность, что позволяет максимально снизить эксплуатационные расходы.
Основные возможности:
Размер подложек 100-150-200 мм
3 или 4 касетные станции или два встроенных порта SMIF
Пятиосевое загрузочное устройство с двумя манипуляторами и специальными захватами для пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 100 п/п пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Полный цифровой контроль, Devicenet-Ethernet
Промышленный ПК на базе Windows
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
Функции каждой из блокировок предустановлены
Применение:
Снятие фоторезиста (высокая темп.)
Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)
HDI
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)
Основные возможности:
Размер подложек 100-150-200 мм
3 или 4 касетные станции или два встроенных порта SMIF
Пятиосевое загрузочное устройство с двумя манипуляторами и специальными захватами для пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 100 п/п пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Полный цифровой контроль, Devicenet-Ethernet
Промышленный ПК на базе Windows
Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)
Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
Функции каждой из блокировок предустановлены
Применение:
Снятие фоторезиста (высокая темп.)
Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)
HDI
Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)