Установка плазменной обработки Trymax NEO 2000

16 октября 2018
452
Классификация оборудования
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Страна производства Нидерланды
Предоставляемое количество 1
Условия использования
Продажа
Стоимостная группа от 500 тыс. до 1 млн. руб.

Описание

Установка плазменной обработки NEO 2000 от компании Trymax Semi Conductor является современной системой удаления фоторезиста, зачистки пластин и озоления. Система специально предназначена для обработки подложек диаметром до 200 мм. Она оснащена ультра-быстрой станцией загрузки, которая может быть адаптированадля обработки подложек любых размеров вплоть до 200 мм. Линейка NEO 2000 отвечает всем требованиям исследовательских институтов и производителей устройств, имеет компактный размер и высокую производительность, что позволяет максимально снизить эксплуатационные расходы.

Основные возможности:

Размер подложек 100-150-200 мм
3 или 4 касетные станции или два встроенных порта SMIF
Пятиосевое загрузочное устройство с двумя манипуляторами и специальными захватами для пластин
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 100 п/п пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Полный цифровой контроль, Devicenet-Ethernet
Промышленный ПК на базе Windows

Применение
Удаление резиста с большой площади
Удаление непроявленного резиста
Удаление полимера
Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
Травление нитрида кремния
МЭМС
Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)

Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet
Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet
Управление блокировками
Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
Функции каждой из блокировок предустановлены

Применение:
Снятие фоторезиста (высокая темп.)
Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)
HDI

Комплектация:
Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
Вакуумная камера из электрополированного алюминия
Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
Регулятор массового расхода с системой вентиляции
Система регулировки давления VAT 615
Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)
Найти аналог
Вам может быть интересно
Наименование Страна производства Условия использования Расположение
Каталитическая установка проточного типа Tubular Reactor System 5403-SS-230-ST3-3000-PCC-GF2-PL-LF1-ISP-CSS-ITW-CHX-GLS1000-AP-1ASV РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Установка для выращивания стандартных образцов высокосовершенных монокристаллов методом бестигельной зонной плавки с оптическим нагревом FZ-T-4000-H-VI-VPO-PC («Crystal) Япония Аренда, Заказ исследования Москва
Модульная установка Redleys: штатив реактора, реактор с рубашкой, с крышкой, капельной градуированной воронкой, адаптером для подачи газа и вакуума, верхнееприводной мешалкой Великобритания Аренда, Заказ исследования Обнинск
Многореакторная каталитическая установка Multi Reactor System MRS-5000-T-SS-230-TW-H-AC-2500-MB-CC-ASME (Parr) США Аренда, Заказ исследования Москва
Установка реактивного ионного травления с источником индуктивно связанной плазмы PlasmaLab 80 (Oxford) Великобритания Аренда, Заказ исследования Нижний Новгород
Лабораторная варочная установка периодического действия CPS 5010 (Frank-РТА) с системой рециркуляции Австрия Аренда, Заказ исследования Санкт-Петербург
Установка реактивно-ионного травления RIE Etchlab 200 Plasma Etcher (SENTECH Instruments) Германия Аренда, Заказ исследования Москва
Автоматизированная установка для промышленного выращивания кристаллов искусственного сапфира НИКА-М60 (ЭЗАН) РФ Аренда, Заказ исследования Москва
Автоматизированная компьютеризированная проточная каталитическая установка PID&TECHPCT (Process Integral Development) Испания Аренда, Заказ исследования Москва
Установка Spark Plasma Sintering System модель Labox-625 (Sinter Land Inc.) Япония Аренда, Заказ исследования Москва