Газовая инжекционная система Omniprobe OmniGIS

Предназначена для электронных и ионных микроскопов и позволяющую оперировать несколькими металло-органическими соединениями как по отдельности, так и в различных комбинациях. При этом выход индивидуального газа или их смеси производится через единичную иглу-инжектор, позволяя создавать микро и нано- структуры на обрабатываемой поверхности. Программное обеспечение системы OmniGIS® обеспечивает обратную связь и контроль трех источников металлоорганических соединений для напыления и/или травления и двух дополнительных источников продувочных газов и их режимов. При этом система оккупирует всего лишь один порт электронного микроскопа. Стандартные контейнеры-тигли, содержащие жидкие или твердотельные металлоорганические соединения, монтируются к кожуху газового инжектора снаружи, что позволяет производить их замену легко и быстро, без перенастройки и юстировки системы.