Вакуумная установка магнетронного напыления VSE-PVD-DESK-PRO, ВСИЭ
6 марта 2020
836
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2017 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Да |
| Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Прибор обеспечивает возможность обрабатывать на пластины диаметром до 100 мм с заданием различной скорости вращения держателя. Вакуумный колпак системы позволяет легко открывать камеру для беспрепятственного доступа для снятия экранов (заслонок) и подготовки системы для следующего процесса. Конструкция готова к интегрированию в перчаточный бокс. Компактный дизайн 600 мм х 1000 мм (габариты размещения на полу). Возможность установки 2-ух или 4-х источников резистивного испарения. Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов. Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.