Установка лазерной безмасковой фотолитографии uPG 101, Heidelberg Instruments
15 марта 2021
332
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
Страна производства | Германия |
Год производства | 2020 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Да |
Наличие аккредитации | Да |
Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначена для производства микроструктур. Области применения: производство элементной базы; микроэлектроники и простейших микросхем; производство метаматериаллов и приборов на основе плазмоники; производство микроканальных структур для приборов микрофлюидики в медицине; производство микро-механических сенсоров.