Установка лазерной безмасковой фотолитографии uPG 101, Heidelberg Instruments
15 марта 2021
559
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Красноярский край, Красноярск |
| Страна производства | Германия |
| Год производства | 2020 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 500 тыс. до 1 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Да |
| Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначена для производства микроструктур. Области применения: производство элементной базы; микроэлектроники и простейших микросхем; производство метаматериаллов и приборов на основе плазмоники; производство микроканальных структур для приборов микрофлюидики в медицине; производство микро-механических сенсоров.