Установка магнетронного напыления JFC 1600, Jeol
13 июня 2022
289
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Япония |
| Год производства | 2015 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 500 000 тыс. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Да |
| Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначена для одностороннего и/или одновременного двустороннего магнетронного напыления металлов (Cu, Al, Ta, Cr, Ni, Ti, W и др.) и резистивных сплавов на различные типы подложек: стекло, кварц, ситалл, керамика (Al2O3, AlN и др.). Максимальная загрузка - 100 подложек размером 60×48 мм. Установка работает в автоматическом режиме по карте технологического процесса. Установка оборудована блокировками, необходимыми для безопасной работы, включая блокировки положений клапанов системы водяного охлаждения, подачи высокого напряжения, откачки и т.д.