Публикации

8580

Фильтры

очистить фильтры скрыть фильтр показать фильтры

Сортировка

по релевантности по дате размещения по названию а-я по названию я-а

Показывать по

Сортировать по

Элементный анализ - контроль химического состава

Рентгенофазовые и рентгеноструктурные исследования образцов

Определение удельной поверхности частиц

Лазерная гранулометрия

Физическая химия, микро- и нанотехнологии

Томография источников плазмы на основе ОЭС (2D-распределения реактивных частиц, ионов)

Новое поколение быстродействующих акусто-оптических спектрометров

Плазмостимулированное осаждение SiO2 в тренчи (0,5х2 мкм) и частичная планаризация рельефа

Плазменные процессы в технологии кремниевых ИС, исследуемые в лабораториях ФТИАН

Ионно-лучевые технологии

Композиционные (многокомпонентные) катоды для вакуумнодугового и магнетронного синтеза нитридных покрытий с нанокристаллической структурой

Полуфабрикаты титановых сплавов с ультрамелкозернистой (нано-) структурой