Эталонная 3D лазерная интерферометрическая система измерений наноперемещений (НИЦПВ)
14 сентября 2018
407
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2012 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 500 000 тыс. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 2 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Эталонная система на основе атомно-силового микроскопа оригинальной конструкции и лазерных интерферометрических измерителей наноперемещений предназначена для измерения нано-рельефа поверхности и линейных перемещений по 3-м координатам в микроэлектронике,нанотехнологии и микромеханике,аттестации мер и стандартных образцов для калибровки растровых электронных и сканирующих зондовых микроскопов.